由于其良好的耐腐蝕性，防腐真空泵可用于泵送大量腐蝕性氣體，這是其他類似設備所不具備的。但由于腐蝕性氣體需要經常泵送，在操作過程中可能會有一部分吸附在設備腹腔內，因此需要對設備腹腔進行清洗。
　　長期運行后，防腐真空泵內部會積聚大量的水垢或其他物質。如果只用清水的話，里面的污垢可能洗不干凈，可以加一些清潔劑來清洗。一般來說可以使用硝酸或其他可溶性物質進行清洗。但使用時要注意使用稀釋產品，不要使用純度太高的產品。否則設備內部的一些附件會損壞。清潔劑可在容器中放置約一小時后釋放，然后用清水沖洗。事實上這種清洗過程非常方便，所以設備可以定期維護，因為只有這樣才能保護防腐真空泵，并且在運行期間可以相對穩定。
　　設備運行時，參與的媒體可能不同。因此如果在更換和運輸介質之前須對參與的介質進行清洗，并且設備可以長期使用，那么日常的維護工作是需要的，所以一定要注意設備的日常維護。在清潔方面，不僅要清理外部，還要清理內部，這一點非常重要。
　　以上介紹的就是防腐真空泵腹腔的清洗過程。清潔時需要注意的是，長期使用可能會留下水垢，這也是需要清潔的。如果里面有更多的污垢，清洗時可以適當增加清洗劑的用量。